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固定桥式结构
固定桥式三坐标与移动结构的区别在于，其桥框固定不动，直接与底部基座连接，力德三坐标维护保养，X向标尺和驱动机构安装在工作台下方中部，纳诺三坐标维修，工作台沿底座的导轨进行移动。其主要部件的运动稳定性好，丰都三坐标，运动误差小，适用于高精度测量，但工作台负载能力小，结构敞开性不好，主要用于高精度的中小机型。
三坐标龙门式结构
移动部分只是横梁，移动部分质量小，整个结构刚性好，三个坐标测量范围较大时也可保证测量精度，适用于大型三坐标，缺点是立柱限制了工件装卸，单侧驱动时仍会带来较大的阿贝误差，海克斯康三坐标买卖，而双侧驱动方式在技术上较为复杂，只有Y向跨距很大、对精度要求较高的大型测量机才采用。
三坐标水平悬臂式结构
也称为水平臂式三坐标，在汽车工业中有广泛应用。其结构简单、敞开性好，尺寸也可以较大，但因横臂前后伸出时会产生较大变形，故测量精度不高，用于中、大型机型。
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三坐标测量机日常维护
一、每周的维护
为了避免精密过滤器堵塞而影响测量机正常工作，每周应检查各级过滤器，放掉积水。
二、每月的维护
1、 检查清理空气处理元件，清洁保养滤芯及气路。如果发现严重污染需清洗或更换滤芯，必要时需要附加的空气过滤和冷冻干燥机以改善气源质量。
2、 检查测量机的零部件是否有松动、脱落或损坏的情况，如有必要，进行紧固松动或脱落的零件，维修或更换损坏的零件。
3、 检查光栅表面是否有异物，使用干净、干燥的无纤维棉布清洁光栅尺表面。
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